ИОНДЫҚ МИКРОСКОП (грекше «микрос – кішкене» + «скопео – көремін») – кескін шығару (алу) үшін термоиондық немесе газрязрядтық иондық көздер шығаратын (өндіретін) иондық шоқтар пайдаланылатын электрондық-оптикалық аспап. Ұлғайту принципі бойынша иондық микроскоп электрондық микроскопқа ұқсас. Иондық шоқ объектив арқылы өтіп, оның саналуан учаскелерінде шашырауға және жұтылуға ұшырап электрстатикалық немесе магниттік линзалар жүйелермен фокусталады және де экранда немесе фотоқабатта нысанның ұлғайтылған кескіні пайда болады.
Иондық микроскоптың ажыратқыштық қасиеті электрондық микроскоппен салыстырғанда әлдеқайда жоғары. Де Бройль толқындарының ұзындығы бірдей үдету кернеуінде иондар үшін электрондардың
әлгіндей ұзындығынан М/m есе кіші (m – электрон массасы, М – иондар массасы). Иондық микроскоптың дифракция құбылысынан бұрмалануы өте аз. Иондық микроскоптың
Атомдарды бақылауға арналған кемшілігі иондардың өте жұқа нысандардан өтуі Мюллердің иондық микроскопы кезінде елеулі энергия шығындалады, осының
себебінен әлгі нысандар бүленеді; хроматикалық аберрациясы үлкен болады, экранның люминофор қабатын иондар бүлдіреді. Линзасыз иондық микроскоп – иондық проектор едәуір эффектілі болып табылады.