ИОНДЫҚ СОҚҚЫЛАУ – қатты дене бетін (мысалы, электрвакуумдық немесе газразрядты аспаптардың электродтарын, жартылайөткізгіш пластиналарды) бағытталған иондар ағынымен атқылау. Ион ағынының әсерінен қатты дене бетінде екінші реттік иондық және электрондық эмиссияға, газ молекулаларының десорбциясына, т.б. негізделген күрделі физикалық-химиялық үрдістер өтеді.